I. Hlavné použitie a funkcie molybdénu
Molybdén je strieborný-biely kovový prvok s vynikajúcimi fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami, vďaka čomu sa široko používa v rôznych oblastiach. Nasledujú hlavné použitia a funkcie molybdénu:
1. Oceliarsky priemysel: V oceliarskom priemysle dominuje molybdén, ktorý predstavuje približne 80 % celkovej spotreby molybdénu. Zlepšuje pevnosť ocele, tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a korózii, čo vedie k lepšiemu výkonu a dlhšej životnosti. Napríklad nehrdzavejúca oceľ-obsahujúca molybdén sa široko používa v korozívnych prostrediach, ako je chemický a námorný priemysel.
2. Chemický priemysel: Zlúčeniny molybdénu sa široko používajú ako katalyzátory v chemickom priemysle. Napríklad sulfid molybdénový sa môže použiť ako katalyzátor na hydrodesulfurizáciu a krakovanie uhľovodíkov, zatiaľ čo oxid molybdénový sa používa pri výrobe rôznych pigmentov a farbív.
3. Elektronický priemysel: Molybdén sa primárne používa ako materiál elektród v elektronickom priemysle. Vďaka svojej vysokej-teplotnej stabilite a dobrej elektrickej vodivosti sa molybdénové elektródy široko používajú v elektronických zariadeniach, ako sú elektrónky, tranzistory a usmerňovače. Molybdén sa používa aj pri výrobe vykurovacích telies a tepelných štítov vo vákuových peciach.
II. Kľúčové kroky aplikácie molybdénu vo výrobe polovodičov
S rýchlym pokrokom polovodičovej technológie sa použitie molybdénu v tejto oblasti čoraz viac rozširuje. Nasledujú tri kľúčové kroky aplikácie molybdénu pri výrobe polovodičov:
1. Iónová implantácia: V tomto procese sa ako zdroj iónov používa molybdén. Iónová implantácia je metóda zavádzania atómov dopantu do kremíkových plátkov, ktoré môžu zmeniť vodivosť plátku. Vďaka svojmu vysokému bodu topenia a vynikajúcej odolnosti proti korózii môže molybdén odolávať reakcii dopujúcich plynov a erózii plazmou v komore, čím sa zabezpečí stabilita a účinnosť implantácie iónov.
2. Zariadenie na epitaxiu molekulárnym lúčom: Epitaxia molekulárnym lúčom je vysoko-presná a vysokokvalitná{2}}technológia rastu polovodičových materiálov. V tomto procese sa molybdén používa ako materiál pre usmerňovače, držiaky substrátu a ďalšie komponenty vo vákuovej komore. Vďaka svojej vysokej tvrdosti a plochosti molybdén zabezpečuje presnosť a konzistenciu polovodičovej kryštálovej štruktúry.
3. Fotolitografické masky: Počas procesu fotolitografie sa materiál používa ako maska na ochranu určitých oblastí na kremíkovej doske pred fotorezistom. Molybdénová fólia je široko používaná ako materiál fotolitografickej masky vďaka svojej vysokej presnosti, vysokej opakovateľnosti a vynikajúcej odolnosti proti korózii.
